HT4400 INSTALACIÓN
7/5/00
Command THC (X-Y)
Manual de instrucciones
3h-7
Figura 3h-3
Conexión de la placa de circuitos impresos PC del interfase de plasma
THC.105
mid plane
2
3
1
4
5
J5
A
B
C
D
45
42
+
-
J3
J4