MAX100 INSTALACIÓN
7/5/00
Command THC (X-Y)
Manual de instrucciones
3e-3
Figura 3e-1
Conexión de los alambres sensores de los cables de electrodo y trabajo del MAX100
2
3
1
4
5
J5
+
-
THC.73
A
B
42
39
C
D
Ensamblaje del interfase del plasma
Tablilla PC 1XPCB1