Burkert Type 8626 - Manual (Página 11)

MFC/MFM - 9
Sensor de derivación de tecnología CMOSens®
(Tipos 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701)
En este caso, la medición del caudal másico se realiza en un conducto de flujo con una
geometría especial, cuyas paredes contienen un chip de silicio con una membrana grabada
al aguafuerte. Una resistencia de calentamiento se conecta a esta membrana, utilizando la
tecnología CMOSens®, junto con dos sensores de temperatura colocados en posiciones
simétricas corriente arriba y corriente abajo de la resistencia.
Si la resistencia de calentamiento recibe una tensión constante, la diferencia de potencial
entre los sensores de temperatura da una medida del caudal másico de gas que atraviesa el
conducto de derivación por encima del chip.
Elemento sensor Calentador Sensores de T
Fig.: Diagrama esquemático del sensor de derivación en la tecnología CMOSens®
La sección transversal del conducto de flujo es lo suficientemente pequeña como para poder
generar una señal de medida adecuada incluso a un caudal inferior a 1 cm
N
3
/min. El límite
superior de medición se alcanza cuando el flujo, que era inicialmente laminar en el conducto,
se vuelve turbulento. Es posible obtener intervalos de caudal más amplios colocando un
elemento de derivación en un conducto de mayor tamaño conectado en paralelo. Si la
relación de partición permanece constante, se puede calcular el caudal total midiendo el
caudal parcial tras llevar a cabo una calibración adecuada.
La baja masa térmica de los sensores de temperatura y su contacto directo con el caudal
(sin contar la presencia de una capa protectora) permite que la reacción de la señal del
sensor a las variaciones de caudal espontáneas sea muy rápida. De ese modo, el MFC
puede compensar los cambios registrados en el valor de consigna o en el valor del proceso
en unos pocos cientos de ms. Además, el sensor posee una elevada sensibilidad a los
caudales más pequeños y ofrece posibilidades adicionales de corrección y diagnóstico a
través de la señal, gracias a la presencia de otro sensor de temperatura en el chip.
Flujo de